Diagnostics and modeling of an inductively coupled radio frequency discharge in hydrogen
- Das Ziel der Arbeit war, das Verständnis von induktiv gekoppelten Plasmen in Wasserstoff zu verbessern. Dazu wurden zahlreiche Diagnostikmethoden eingesetzt und ein Modell entwickelt, das die Mechanismen der Leistungseinkoppelung, Plasmaerzeugung und Schichtausbildung berücksichtigt. Experimentelle Untersuchungen wurden mit Langmuir-Sondenmessungen, Messungen des elektrischen Feldes im Schichtbereich, massenaufgelöste Ionenenergieanalyse an der Elektrodenoberfläche und zeitaufgelöster optischer Emissionsspektroskopie in einer modifizierten GEC-Referenz-Zelle durchgeführt. Das ICP-Entladungsmodell besteht aus drei Modulen. Das Plasmamodell erlaubt die Berechnung von Elektronendichte und Elektronentemperatur. Das elektrische Modell verknüpft die Eingangs-RF-Leistung mit der im Plasma kapazitiv oder induktiv dissipierten Leistung. Das Schichtmodell berechnet die Felder, die Potentiale, die Ströme und die Ionenenergie-Verteilungsfunktion. Das Modell ist konsistent mit den Messungen.
Author: | Victor Anatolievich KadetovGND |
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URN: | urn:nbn:de:hbz:294-11103 |
Referee: | Uwe CzarnetzkiORCiDGND, Ralf Peter BrinkmannORCiDGND |
Document Type: | Doctoral Thesis |
Language: | English |
Date of Publication (online): | 2004/08/12 |
Date of first Publication: | 2004/08/12 |
Publishing Institution: | Ruhr-Universität Bochum, Universitätsbibliothek |
Granting Institution: | Ruhr-Universität Bochum, Fakultät für Physik und Astronomie |
Date of final exam: | 2004/06/19 |
Creating Corporation: | Fakultät für Physik und Astronomie |
GND-Keyword: | Niederdruckplasma; Plasmaschicht; Induktive Kopplung; Wasserstoff; Niedrigtemperatur |
Institutes/Facilities: | Institut für Experimentalphysik V |
Dewey Decimal Classification: | Naturwissenschaften und Mathematik / Physik |
faculties: | Fakultät für Physik und Astronomie |
Licence (German): | Keine Creative Commons Lizenz - es gelten der Veröffentlichungsvertrag und das deutsche Urheberrecht |