Elektronische Mikrostrukturen aus amorphem Kohlenstoff, hergestellt durch fokussierte Ionenstrahlimplantation auf Diamant
- Auf dem hochwertigen CVD polykristallischen Diamant sind Amorpher Kohlenstoff-Diamant- Amorpher Kohlenstoff Heterostrukturen mittels fokussierter Ionenimplantation (100 keV Ga\(^{+}\), 200 keV Mn\(^{++}\) und 200 keV Dy\(^{++}\), Ionenstrahl um \(\varnothing\) 100 nm) hergestellt worden. Für ihre strukturelle Charakterisierung wurden AFM Profilometrie und Raman Spektroskopie eingesetzt. Elektrische Eigenschaften sowie Geometrieeinfluß, Dosis- und Temperaturabhängigkeit sind umfassend untersucht worden. Die hergestellten Strukturen zeigen zu den n-i-n- Dioden ein analoges Verhalten. Ein mögliches Erklärungsmodel wird vorgestellt.
- Amorphous Carbon-Diamond-Amorphous Carbon heterostructures have been fabricated on high quality polycrystalline CVD diamond films using fine-focus ion implantation (100 keV Ga\(^{+}\), 200 keV Mn\(^{++}\) and 200 keV Dy\(^{++}\); ion beam \(\varnothing\) 100 nm). The structures have been characterized by AFM-Profilometry and Raman spectroscopy. Systematic studies of the electrical properties, dose- and temperature dependencies have been carried out. The operation of the structures has been found to be similar to that of n-i-n unipolar diodes on diamond. A band-model of the ion-implanted Amorphous Carbon-Diamond-Amorphous Carbon heterostructures has been proposed.
Author: | Inga A. DobrinetsGND |
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URN: | urn:nbn:de:hbz:294-7193 |
Referee: | Andreas D. WieckORCiDGND, Josef PelzlGND |
Document Type: | Doctoral Thesis |
Language: | German |
Date of Publication (online): | 2003/04/29 |
Date of first Publication: | 2003/04/29 |
Publishing Institution: | Ruhr-Universität Bochum, Universitätsbibliothek |
Granting Institution: | Ruhr-Universität Bochum, Fakultät für Physik und Astronomie |
Date of final exam: | 2003/02/11 |
Creating Corporation: | Fakultät für Physik und Astronomie |
GND-Keyword: | Ionenimplantation; Raman-Spektroskopie; Kraftmikroskopie; Temperaturabhängigkeit |
Institutes/Facilities: | Institut für Experimalphysik VI: Lehrstuhl Angewandte Festkörperphysik / AG Spektroskopie der kondensierten Materie |
Dewey Decimal Classification: | Naturwissenschaften und Mathematik / Physik |
faculties: | Fakultät für Physik und Astronomie |
Licence (German): | Keine Creative Commons Lizenz - es gelten der Veröffentlichungsvertrag und das deutsche Urheberrecht |