Modellierung und Diagnostik nachleuchtender Niederdruckplasmen
- Die vorliegende Dissertation untersucht das Verhalten nachleuchtender Niederdruckplasmen in Edelgasen. Die Modellierung der transienten Vorgänge in Edelgasplasmen bei niedrigem Druck mit Hilfe eines kinetischen Modells bildet einen Schwerpunkt dieser Arbeit. Das Modell beinhaltet die Wechselwirkung des Elektronengases mit metastabilen angeregten Neutralteilchen. Es erklärt die experimentell beobachteten Abfallzeitkonstanten der Plasmaparameter und die Rückheizung des Elektronengases. Komplementär dazu werden in dieser Arbeit nachleuchtende Edelgasplasmen auch experimentell mit Langmuir-Sondenmessungen untersucht. Dazu wird ein adaptives Verfahren zur Glättung und Auswertung von Sondenkennlinien entwickelt, das sich lokal an die Eigenschaften der Sondenkennlinie anpaßt und erstmalig eine statistische Auswertung der Meßfehler ermöglicht. Ein Vergleich zwischen gemessenen und berechneten Daten für nachleuchtende Edelgasplasmen schließt die Arbeit ab.
Author: | Georg Wenig |
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URN: | urn:nbn:de:hbz:294-18908 |
Referee: | Peter AwakowiczORCiDGND, Ralf Peter BrinkmannORCiDGND |
Document Type: | Doctoral Thesis |
Language: | German |
Date of Publication (online): | 2007/04/10 |
Date of first Publication: | 2007/04/10 |
Publishing Institution: | Ruhr-Universität Bochum, Universitätsbibliothek |
Granting Institution: | Ruhr-Universität Bochum, Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik |
Date of final exam: | 2007/02/02 |
Creating Corporation: | Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik |
GND-Keyword: | Niederdruckplasma; Abklingendes Plasma; Plasma-Simulation; Plasmadiagnostik; Plasmapysik |
Institutes/Facilities: | Lehrstuhl für Allgemeine Elektrotechnik und Plasmatechnik |
Dewey Decimal Classification: | Technik, Medizin, angewandte Wissenschaften / Ingenieurwissenschaften, Maschinenbau |
Licence (German): | Keine Creative Commons Lizenz - es gelten der Veröffentlichungsvertrag und das deutsche Urheberrecht |