Selektive metallorganische chemische Dampfabscheidung von Gold und Palladium auf selbstorganisierten Monolagen

  • In dieser Arbeit konnte gezeigt werden, daß die metallorganische chemische Dampfabscheidung (MOCVD) eine geeignete Methode zur selektiven Metallisierung organischer Monolagen darstellt. Als Modellsubstrate wurden selbstorganisierte Monolagen verschieden funktionalisierter organischer Thiole auf Gold- und Silberoberflächen verwendet. Die Untersuchung der MOCVD von Gold und Palladium auf diesen Schichten ergab, daß sich die Selektivität der Abscheidung über die Endgruppen der organischen Thiole und die Wahl der metallorganischen Precursoren bzw. Precursorkombinationen kontrollieren läßt.

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Metadaten
Author:Ulrike Weckenmann
URN:urn:nbn:de:hbz:294-5645
Referee:Roland A. FischerGND, Martin MuhlerORCiDGND
Document Type:Doctoral Thesis
Language:German
Date of Publication (online):2003/03/18
Date of first Publication:2003/03/18
Publishing Institution:Ruhr-Universität Bochum, Universitätsbibliothek
Granting Institution:Ruhr-Universität Bochum, Fakultät für Chemie und Biochemie
Date of final exam:2002/07/17
Creating Corporation:Fakultät für Chemie und Biochemie
GND-Keyword:Metallisieren; Molekularelektronik; Dithiolene; Biphenyl; Präkursor
Institutes/Facilities:Lehrstuhl für Anorganische Chemie II
Dewey Decimal Classification:Naturwissenschaften und Mathematik / Chemie, Kristallographie, Mineralogie
Licence (German):License LogoKeine Creative Commons Lizenz - es gelten der Veröffentlichungsvertrag und das deutsche Urheberrecht