Diagnostik von Niederdruckplasmen zur kontrollierten Synthese von Kohlenwasserstoff-Nanoteilchen
- Die vorliegende Dissertation untersucht das Verhalten einer Niederdruckentladung, die zur Erzeugung von Kohlenwasserstoff-Nanoteilchen verwendet wird. Plasmasynthetisierte Nanoteilchen haben eine enge Größenverteilung wie sie für neue Anwendungen in der Elektronik benötigt wird. Ein ungelöstes Problem ist allerdings die Kontrolle der Größenverteilung während des Wachstumsprozesses. Kern der vorliegenden Arbeit ist die Untersuchung einer Plasmainstabilität, die in einem induktiven Niederdruckplasma bei Anwesenheit von Nanoteilchen auftritt. Die Oszillationsfrequenz dieser Instabilität ist direkt mit der Größe der Teilchen verknüpft und erlaubt damit die in-situ Diagnostizierung der Teilchengröße. Mit Hilfe weiterentwickelter Plasmadiagnostiken werden eine rotierende teilchenfreie Zone als Ursache der Oszillationen erkannt und die physikalischen Zusammenhänge dieser Instabilität aufgeklärt.
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| Author: | Martin SchulzeORCiDGND |
|---|---|
| URN: | urn:nbn:de:hbz:294-20193 |
| Referee: | Peter AwakowiczORCiDGND, Achim von KeudellORCiDGND |
| Document Type: | Doctoral Thesis |
| Language: | German |
| Date of Publication (online): | 2007/10/09 |
| Date of first Publication: | 2007/10/09 |
| Publishing Institution: | Ruhr-Universität Bochum, Universitätsbibliothek |
| Granting Institution: | Ruhr-Universität Bochum, Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik |
| Date of final exam: | 2007/08/17 |
| Creating Corporation: | Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik |
| GND-Keyword: | Nanopartikel; Langmuir-Sonde; Plasmainstabilität; Void; Nichtparametrische Regression |
| Dewey Decimal Classification: | Technik, Medizin, angewandte Wissenschaften / Elektrotechnik, Elektronik |
| Licence (German): |  Keine Creative Commons Lizenz - es gelten der Veröffentlichungsvertrag und das deutsche Urheberrecht |
