Herstellung und Charakterisierung von ZnO-Filmen und Metalldeponaten auf ZnO-Filmen

Das grundsätzliche Verständnis der Wechselwirkung oxidischer Oberflächen mit Metall- oder Molekül-Deponaten ist aufgrund der wachsenden Nachfrage und Möglichkeiten auf dem Gebiet der oxidgestützten Metallkatalyse von immenser Bedeutung. Daher ist eine Modellierung von Edelmetall/Metalloxid-Systemen für die heterogene Katalyse von größtem Interesse. In meiner Arbeit wurden epitaktisch gewachsene Edelmetall/ZnO(000\(\bar{1}\))-Systeme auf Al\(_{2}\)O\(_{3}\)-Substraten untersucht. Nach der Herstellung der ZnO(000\(\bar{1}\))/Al\(_{2}\)O\(_{3}\)-Schichten mit dem RF-Sputterverfahren folgten Temperexperimente, die zu einer Qualitätserhöhung führten. Die Deposition der fcc-Metalle Cu und Au erfolgte mit dem MBE- und dem RF-Sputterverfahren bei Variation der Wachstumstemperatur und zeigt ein Wachstum in [111]-Richtung, wobei Gitterfehlanpassungen schichtdickenabhängige out-of-plane Gitteraufweitungen ergeben. Die strukturellen Eigenschaften wurden mit XRD, AFM und SEM untersucht. Die chemische Charakterisierung erfolgte anhand von XPS-Messungen.

Metadaten
Author:	Murat Ay GND
URN:	urn:nbn:de:hbz:294-11491
Referee:	Hartmut Zabel ORCiD GND, Ulrich Köhler GND
Document Type:	Doctoral Thesis
Language:	German
Date of Publication (online):	2004/10/20
Date of first Publication:	2004/10/20
Publishing Institution:	Ruhr-Universität Bochum, Universitätsbibliothek
Granting Institution:	Ruhr-Universität Bochum, Fakultät für Physik und Astronomie
Date of final exam:	2004/05/12
Creating Corporation:	Fakultät für Physik und Astronomie
GND-Keyword:	Röntgenstreuung; Röntgen-Photoelektronenspektroskopie; Heterogene Katalyse; Zinkoxid; Epitaxie
Dewey Decimal Classification:	Naturwissenschaften und Mathematik / Physik
faculties:	Fakultät für Physik und Astronomie
Licence (German):	Keine Creative Commons Lizenz - es gelten der Veröffentlichungsvertrag und das deutsche Urheberrecht

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