Plasma-induced ionization waves

  • Die Dissertation beschäftigt sich mit der Untersuchung eines Plasma Jets bei Atmosphärendruck. Im Prinzip erzeugt man eine "kalte Flamme" welche aus dem offenen Ende des Rohres expandiert. Für eine Charakterisierung dieses Plasma Jets bei Atmosphärendruck werden die Parameter der Entladung bestimmt. Dafür wird die zweidimensionale optische Emissionsspektroskopie verwendet, dabei wird die Intensität zweier Übergänge von Stickstoff gemessen. Aus dem Verhältnis der beiden Intensitäten wird das reduzierte Elektrische Feld und die Elektronendichte berechnet. Der Plasma Jet erzeugt erhebliche Oberflächenmodifikationen auf Siliziumoberflächen. Mithilfe verschiedener Mikroskope werden die Spuren auf dem Silizium untersucht, sowohl ihre Struktur als auch ihre chemische Zusammensetzung. In einer planaren DBD werden die gleichen Modifikationen beobachtet.

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Metadaten
Author:Max EngelhardtGND
URN:urn:nbn:de:hbz:294-53452
Subtitle (English):fundamentals and surface modifications
Subtitle (German):Grundlagen und Oberflächenmodifikationen
Title Additional (German):Plasma erzeugte Ionisationswellen
Referee:Peter AwakowiczGND, Thomas MussenbrockGND
Document Type:Doctoral Thesis
Language:English
Date of Publication (online):2017/07/25
Date of first Publication:2017/07/25
Publishing Institution:Ruhr-Universität Bochum, Universitätsbibliothek
Granting Institution:Ruhr-Universität Bochum, Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
Date of final exam:2016/08/19
Creating Corporation:Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
GND-Keyword:Gasentladung; Plasma; Hochspannung; Elektronenmikroskopie; Produktion
Dewey Decimal Classification:Technik, Medizin, angewandte Wissenschaften / Elektrotechnik, Elektronik
Licence (German):License LogoKeine Creative Commons Lizenz - es gilt der Veröffentlichungsvertrag und das deutsche Urheberrecht