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Alexander Sadlo

• The focus of the present PhD thesis is the synthesis and characterization of metal organic complexes of zinc, iron, gallium, antimony and molybdenum. Their applicability in chemical vapor deposition and spin coating processes, for depositing inorganic thin films of ZnO, Fe\(_2\)O\(_3\), GaSb\(_x\)N\(_{1-x}\) and MoS\(_2\), is of major interest within this thesis. Coating parameters were evaluated and optimized by examining the deposited material towards its elemental composition, structure and morphology, using various analysis methods
• Gegenstand dieser Dissertation ist zum einen die Synthese und Charakterisierung von Organometall-Verbindungen des Zinks, Eisens, Galliums, Antimons und Molybdäns. Zum anderen werden diese hinsichtlich ihrer Eignung als Präkursoren für die chemische Gasphasenabscheidung bzw. Rotationsbeschichtung untersucht, um verschiedene anorganische Dünnschichtmaterialien, wie ZnO, Fe\(_2\)O\(_3\), GaSb\(_x\)N\(_{1-x}\) und MoS\(_2\), abzuscheiden. Im Zuge der Entwicklung und Optimierung der jeweiligen Abscheidungsprozesse, liegt der Fokus insbesondere auf der Dünnschichtanalyse mittels unterschiedlicher analytischer Methoden.