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Liquid and vapor phase syntheses of inorganic materials

  • The focus of the present PhD thesis is the synthesis and characterization of metal organic complexes of zinc, iron, gallium, antimony and molybdenum. Their applicability in chemical vapor deposition and spin coating processes, for depositing inorganic thin films of ZnO, Fe\(_2\)O\(_3\), GaSb\(_x\)N\(_{1-x}\) and MoS\(_2\), is of major interest within this thesis. Coating parameters were evaluated and optimized by examining the deposited material towards its elemental composition, structure and morphology, using various analysis methods
  • Gegenstand dieser Dissertation ist zum einen die Synthese und Charakterisierung von Organometall-Verbindungen des Zinks, Eisens, Galliums, Antimons und Molybdäns. Zum anderen werden diese hinsichtlich ihrer Eignung als Präkursoren für die chemische Gasphasenabscheidung bzw. Rotationsbeschichtung untersucht, um verschiedene anorganische Dünnschichtmaterialien, wie ZnO, Fe\(_2\)O\(_3\), GaSb\(_x\)N\(_{1-x}\) und MoS\(_2\), abzuscheiden. Im Zuge der Entwicklung und Optimierung der jeweiligen Abscheidungsprozesse, liegt der Fokus insbesondere auf der Dünnschichtanalyse mittels unterschiedlicher analytischer Methoden.

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Metadaten
Author:Alexander SadloORCiDGND
URN:urn:nbn:de:hbz:294-67013
DOI:https://doi.org/10.13154/294-6701
Subtitle (German):from metal organic molecules to thin film deposition
Referee:Anjana DeviORCiDGND, Radim BeránekGND
Document Type:Doctoral Thesis
Language:English
Date of Publication (online):2019/11/11
Date of first Publication:2019/11/11
Publishing Institution:Ruhr-Universität Bochum, Universitätsbibliothek
Granting Institution:Ruhr-Universität Bochum, Fakultät für Chemie und Biochemie
Date of final exam:2019/07/12
Creating Corporation:Fakultät für Chemie und Biochemie
GND-Keyword:CVD-Verfahren; Abscheidung; Dünne Schicht; Präkursor; Halbleiter
Institutes/Facilities:Lehrstuhl für Anorganische Chemie II, Inorganic Materials Chemistry
Dewey Decimal Classification:Naturwissenschaften und Mathematik / Chemie, Kristallographie, Mineralogie
faculties:Fakultät für Chemie und Biochemie
Licence (German):License LogoKeine Creative Commons Lizenz - es gelten der Veröffentlichungsvertrag und das deutsche Urheberrecht