Analytic and numerical investigation of high power impulse magnetron sputtering discharges
- High Power Impulse Magnetron Sputtering ist eine neuartige Technologie aus dem Bereich der ionenunterstützten physikalischen Gasphasenabscheidung, welche in der Lage ist, hochdichte Plasmen mit einem hohen Ionisationsgrad gesputterter Atome zu erzeugen. Diese Charakteristik ist von besonderer Bedeutung für die Qualität der abgeschiedenen Schicht. Skalenüberlegungen der relevanten Plasmaparameter führen zu dem Ergebnis, dass die Elektronen wegen einer nicht ausreichenden Anzahl an Interaktionen kein thermisches Gleichgewicht erreichen können. Weil die charakteristischen Längen- und Zeitskalen mehrere Größenordnungen überstreichen, sind konventionelle kinetische Simulationsmodelle häufig wegen des hohen Rechenaufwands nicht zur Problembeschreibung geeignet. In der vorliegenden Arbeit werden die komplizierten Zusammenhänge mit Hilfe einzelner, reduzierter Modelle erfasst, welche jeweils spezifische Aspekte der physikalischen Mechanismen erfassen.
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| Author: | Sara GallianORCiDGND |
|---|---|
| URN: | urn:nbn:de:hbz:294-44041 |
| Referee: | Ralf Peter BrinkmannORCiDGND, William Nicholas G. HitchonGND |
| Document Type: | Doctoral Thesis |
| Language: | English |
| Date of Publication (online): | 2015/10/12 |
| Date of first Publication: | 2015/10/12 |
| Publishing Institution: | Ruhr-Universität Bochum, Universitätsbibliothek |
| Granting Institution: | Ruhr-Universität Bochum, Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik |
| Date of final exam: | 2015/06/18 |
| Creating Corporation: | Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik |
| Tag: | Elektronenenergieverteilungsfunktion; Globales Modell; HIPIMS-Entladung; Magnetisiertes Plasma |
| GND-Keyword: | Entladung; Simulation; Elektron; Energie; Plasma |
| Institutes/Facilities: | Lehrstuhl für Theoretische Elektrotechnik |
| Dewey Decimal Classification: | Technik, Medizin, angewandte Wissenschaften / Elektrotechnik, Elektronik |
| faculties: | Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik |
| Licence (German): |  Keine Creative Commons Lizenz - es gelten der Veröffentlichungsvertrag und das deutsche Urheberrecht |
