Kinetische und numerische Untersuchungen zur Beschreibung stochastischer Heizung in kapazitiv gekoppelten Niederdruckplasmen
- Die Heizung von Elektronen in kapazitiv gekoppelten Niederdruckplasmen ist ein interessantes Forschungsgebiet. Langjährige Forschungsarbeiten lieferten wichtige Erklärungen zur Heizung von Elektronen, jedoch sind nicht alle Aspekte untersucht worden. In den 80iger Jahren haben Popov und Godyak anhand experimenteller Ergebnisse nachweisen können, dass ein Heizmechanismus bei niedrigen Gasdrücken unterhalb von 10 Pa existieren muss, denn unter diesen Bedingungen verliert die Ohmsche Heizung an Dominanz. Der zusätzliche Heizprozess ist auch unter dem Namen stochastische Heizung bekannt. Hamme entwickelte auf der Basis der kinetischen Theorie ein konsistentes Modell, und formulierte zudem die stochastische Heizung in einer Randbedingung. Das Ziel dieser Arbeit war es, für das Modell ein numerisches Verfahren zu entwickeln. Das numerische Programm liefert wichtige Ergebnisse, die die stochastische Heizung als den dominierenden Heizprozess für Gasdrücke unterhalb von 10 Pa identifizieren.
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| Author: | Mustafa BayrakGND |
|---|---|
| URN: | urn:nbn:de:hbz:294-26572 |
| Referee: | Ralf Peter BrinkmannORCiDGND, Peter AwakowiczORCiDGND |
| Document Type: | Doctoral Thesis |
| Language: | German |
| Date of Publication (online): | 2009/10/06 |
| Date of first Publication: | 2009/10/06 |
| Publishing Institution: | Ruhr-Universität Bochum, Universitätsbibliothek |
| Granting Institution: | Ruhr-Universität Bochum, Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik |
| Date of final exam: | 2009/02/10 |
| Creating Corporation: | Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik |
| GND-Keyword: | Kinetik; Elektron; Verteilungsfunktion; Randwertproblem; Plasmatechnik |
| Institutes/Facilities: | Lehrstuhl für Theoretische Elektrotechnik |
| Dewey Decimal Classification: | Technik, Medizin, angewandte Wissenschaften / Elektrotechnik, Elektronik |
| faculties: | Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik |
| Licence (German): |  Keine Creative Commons Lizenz - es gelten der Veröffentlichungsvertrag und das deutsche Urheberrecht |
