Design, synthesis and evaluation of guanidinates, ketoiminates and aminoalkoxide based precursors for thin film deposition of ZrO\(_{2}\) and TiO\(_{2}\)
- Die vorliegende Arbeit beschäftigt sich mit der Entwicklung von Präkursoren für die Synthese von TiO\(_{2}\) und ZrO\(_{2}\) Metalloxid-Dünnschichten. Diese metallorganischen Präkursoren basieren auf Guanidinat-, Ketoiminat- und Aminoalkoxid-Liganden, welche nach ausführlicher Analyse hinsichtlich ihrer Eignung als Präkursoren beurteilt wurden. Die vielversprechendsten Komplexe wurden für die Abscheidung von Dünnschichten ausgewählt, welche einerseits durch Gasphasenabscheidungstechniken wie MOCVD und andererseits durch lösemittelbasierte Verfahren wie spin-coating durchgeführt wurden. Die heteroleptischen Komplexe Zirconium-Amid-Guanidinat und Titan-Aminoalkoxid wurden, aufgrund ihrer thermischen Stabilität und der optimalen Volatilität, erfolgreich als Präkursoren für die MOCVD eingesetzt. \(\beta\)-Ketoiminat Komplexe des Zirkoniums sind geeignet als Präkursoren für die Abscheidung von \(ZrO_{2}\) mittels spin-coating, da sie ein schmales Temperaturfenster zwischen Verdampfung und Zersetzung zeigen.
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| Author: | Manish BanerjeeGND |
|---|---|
| URN: | urn:nbn:de:hbz:294-42409 |
| Referee: | Anjana DeviORCiDGND, Anja-Verena MudringGND |
| Document Type: | Doctoral Thesis |
| Language: | English |
| Date of Publication (online): | 2014/10/06 |
| Date of first Publication: | 2014/10/06 |
| Publishing Institution: | Ruhr-Universität Bochum, Universitätsbibliothek |
| Granting Institution: | Ruhr-Universität Bochum, Fakultät für Chemie und Biochemie |
| Date of final exam: | 2013/10/18 |
| Creating Corporation: | Fakultät für Chemie und Biochemie |
| GND-Keyword: | MOCVD-Verfahren; Zirkoniumdioxid; Titandioxid; Dünne Schicht; Präkursor |
| Institutes/Facilities: | Lehrstuhl für Anorganische Chemie II, Inorganic Materials Chemistry |
| Dewey Decimal Classification: | Naturwissenschaften und Mathematik / Chemie, Kristallographie, Mineralogie |
| faculties: | Fakultät für Chemie und Biochemie |
| Licence (German): |  Keine Creative Commons Lizenz - es gelten der Veröffentlichungsvertrag und das deutsche Urheberrecht |
