Investigation of atmospheric microplasma jets for material synthesis
- In dieser Arbeit werden DC und RF Mikroplasmen zur Herstellung von Silicium-Nanokristallen untersucht. Diese Entladungsart eignet sich um die Herausforderungen von Partikelagglomeration und -oxidation zu überwinden und Kristalle mit einer schmalen Größenverteilung innerhalb von Millisekunden zu synthetisieren. Die Silicium-Nanokristalle werden unter Verwendung eines Ar/SiH\(_{4}\)/H\(_{2}\) Gasgemisches unter der Nutzung eines Atmosphärendruck-Mikroplasma-Jet-Systems generiert. Ein zweistufiger Aufbau wird für die zukünftige Synthese und Modifizierung der Nanopartikel entwickelt. Untersuchungen zur Kristallinität und Photoluminiszenz der Nanokristalle mittels HRTEM-, Laserstreuungs- und Photolumineszenzmessungen der unter verschiedenen Bedingungen erzeugten Silicium-Nanokristalle werden vorgestellt. Die Plasmen werden mittels optischer Emissionsspektroskopie auf für das Partikelwachstum relevante Spezies untersucht und ihre Entladungsmodi bestimmt.
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| Author: | Barbara BarweGND |
|---|---|
| URN: | urn:nbn:de:hbz:294-43597 |
| Referee: | Jan BenediktGND, Peter AwakowiczORCiDGND |
| Document Type: | Doctoral Thesis |
| Language: | English |
| Date of Publication (online): | 2015/05/15 |
| Date of first Publication: | 2015/05/15 |
| Publishing Institution: | Ruhr-Universität Bochum, Universitätsbibliothek |
| Granting Institution: | Ruhr-Universität Bochum, Fakultät für Physik und Astronomie |
| Date of final exam: | 2014/11/20 |
| Creating Corporation: | Fakultät für Physik und Astronomie |
| Tag: | Plasma (Physik) |
| GND-Keyword: | Mikroplasma; Nanokristall; Synthese; Kristallwachstum; Silicium |
| Dewey Decimal Classification: | Naturwissenschaften und Mathematik / Physik |
| faculties: | Fakultät für Physik und Astronomie |
| Licence (German): |  Keine Creative Commons Lizenz - es gelten der Veröffentlichungsvertrag und das deutsche Urheberrecht |
