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Jiyeon Kim

• This thesis is divided into two major parts. On the one hand it deals with the preparation and full characterization of organometallic compounds, as well as with Atomic Layer deposition precursor development and process design. In the first part novel Ni\(^{I}\) \(d^{9}\) open shell compounds are presented and additionally the synthesis of small palladium-aluminum clusters, which are potential precursors for the built up of large clusters is elucidated. The second topic deals on the one hand with the precursor development towards new cobalt-guanidinates and furthermore highlights the preparation of cobalt oxide thin films via ozone assisted atomic layer deposition. These films show strong potential as a photocatalyst.
• Diese Doktorarbeit ist in zwei Hauptthemen gegliedert. Zum einen beschäftigt sich diese Arbeit mit der Synthese und Charakterisierung von organometallischen Verbindungen und des Weiteren mit der Entwicklung von Vorstufen und Prozessen für die Atomlagenabscheidung. Im ersten Teil werden neue Ni\(^{I}\) \(d^{9}\) Verbindungen mit offener Valenzschale präsentiert, und zusätzlich neue Palladium-Aluminium Cluster, welche potentielle Bausteine für größere Cluster sind. Der zweite Themenbereich dieser Arbeit beschäftigt sich mit der Synthese neuer Kobalt-Guanidinate Vorstufen für die chemische Dampfabscheidung und außerdem der Herstellung von Kobaltoxid Dünnschichten mittels Ozon unterstützter Atomlagenabscheidung. Diese Dünnschichten zeigen extrem hohes Potential als Photokatalysatoren.