High resolution investigation of texture formation process in diamond films and the related macro-stresses

  • Aufgrund seiner extremen physikalischen und mechanischen Eigenschaften ist Diamant eines der wichtigsten Funktionsmaterialien für Schichtanwendungen. Viele der Eigenschaften hängen dabei von der kristallographischen Vorzugsorientierung ab. Vier Gruppen von Diamantfilmen wurden durch chemische Gasphasenabscheidung (CVD) unter Variation der Substrattemperatur, Methankonzentration, Schichtstärke und Stickstoffzugabe hergestellt und mittels hochaufgelöster Orientierungsmikroskopie (HR-EBSD) und 3D-EBSD charakterisiert. Basierend auf der \(sp^{3}\)-Hybridisierung der \(CH_{4}\)-Bindungen werden Modelle für Wachstum und Zwillingsbildung vorgestellt. Die Entwicklung der Mikrotextur in der Keimbildungszone wurde in weiteren drei Gruppen von Schichten untersucht, die bei unterschiedlichen Methankonzentrationen, Substratmaterialien und Schichtdicken abgeschieden wurden. Die Makro-Eigenspannungen der drei Schichtgruppen wurden röntgendiffraktometrisch mit der 2\(\psi\) Methode bestimmt.

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Metadaten
Author:Tao LiuGND
URN:urn:nbn:de:hbz:294-25177
Referee:Gunther EggelerORCiDGND, Dierk RaabeORCiDGND
Document Type:Doctoral Thesis
Language:English
Date of Publication (online):2009/04/21
Date of first Publication:2009/04/21
Publishing Institution:Ruhr-Universität Bochum, Universitätsbibliothek
Granting Institution:Ruhr-Universität Bochum, Fakultät für Maschinenbau
Date of final exam:2009/03/03
Creating Corporation:Fakultät für Maschinenbau
GND-Keyword:Diamant; CVD-Verfahren; Wachstumsprozess; Texturanalyse; Eigenspannung
Institutes/Facilities:Max-Planck-Institut für Eisenforschung, Düsseldorf
Dewey Decimal Classification:Technik, Medizin, angewandte Wissenschaften / Ingenieurwissenschaften, Maschinenbau
faculties:Fakultät für Maschinenbau
Licence (German):License LogoKeine Creative Commons Lizenz - es gelten der Veröffentlichungsvertrag und das deutsche Urheberrecht