Silicon oxide permeation barrier coating and sterilization of PET bottles by pulsed low-pressure microwave plasmas
- Die Dissertation beschreibt die erfolgreiche Entwicklung und Charakterisierung eines Plasmasterilisations- und Barrierebeschichtungsprozesses für PET-Flaschen. Dazu werden gepulste mikrowellenangeregte Niederdruckplasmen innerhalb einer PET-Flasche gezündet. Die Plasmaeigenschaften während der beiden Prozessschritte werden detailliert analysiert und orts- bzw. zeitaufgelöst betrachtet. Die Barrierebeschichtung basiert auf der Abscheidung von Siliziumoxidschichten im Flascheninneren mit Hilfe eines gepulsten Hexamethyldisiloxan-Sauerstoffplasmas. Die Korrelation der Ergebnisse der Schichtanalyse und der Plasmadiagnostik während der Schichtabscheidung erlaubt ein modellhaftes Verständnis des Abscheideprozess der Barriereschichten. Darüber hinaus wird ein grundlegendes Kriterium zur gepulsten Schichtabscheidung innerhalb dreidimensionaler Objekte auf der Basis der Verweildauer der Prozessgase definiert.
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| Author: | Michael DeilmannGND |
|---|---|
| URN: | urn:nbn:de:hbz:294-23472 |
| Referee: | Peter AwakowiczORCiDGND, Jörg WinterGND |
| Document Type: | Doctoral Thesis |
| Language: | English |
| Date of Publication (online): | 2008/09/17 |
| Date of first Publication: | 2008/09/17 |
| Publishing Institution: | Ruhr-Universität Bochum, Universitätsbibliothek |
| Granting Institution: | Ruhr-Universität Bochum, Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik |
| Date of final exam: | 2008/08/14 |
| Creating Corporation: | Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik |
| GND-Keyword: | Permeation; Mikrowellenplasma; Kunststoffflasche; Plasmadiagnostik; Massenspektrometrie |
| Institutes/Facilities: | Lehrstuhl für Allgemeine Elektrotechnik und Plasmatechnik |
| Dewey Decimal Classification: | Technik, Medizin, angewandte Wissenschaften / Elektrotechnik, Elektronik |
| faculties: | Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik |
| Licence (German): |  Keine Creative Commons Lizenz - es gelten der Veröffentlichungsvertrag und das deutsche Urheberrecht |
