Experimental investigation and theoretical analysis of mode transitions in inductively coupled RF plasma discharges
- Inductively coupled rf plasma discharges exhibit two distinct modes of operation. At low rf power capacitive power coupling dominates ("E mode"), at higher power inductive coupling ("H mode"). The transition between both modes is typically accompanied by drastic changes of the plasma properties and non-continuous. In the frame of this work, the dynamics of the E to H mode transitions is investigated experimentally and compared to a global model.
- Induktiv gekoppelte RF-Plasma-Entladungen zeichnen sich durch die Existenz zweier unterschiedlicher Betriebsarten ("Moden") aus. Bei niedriger RF-Leistung dominiert die kapazitive Kopplung ("E-Modus"), bei höherer die induktive ("H-Modus"). Der Übergang zwischen beiden Moden ist i.d.R. mit drastischen Änderungen der Plasmaeigenschaften verbunden und erfolgt nicht-kontinuierlich. Im Rahmen dieser Arbeit wurde die Dynamik der E-H-Modenübergänge experimentell untersucht und mit einem, ebenfalls im Rahmen dieser Arbeit entstandenen Modell verglichen.
Download full text files
Additional Services
| Author: | Philipp KempkesGND |
|---|---|
| URN: | urn:nbn:de:hbz:294-24609 |
| Referee: | Henning SoltwischGND, Peter AwakowiczORCiDGND |
| Document Type: | Doctoral Thesis |
| Language: | English |
| Date of Publication (online): | 2009/02/06 |
| Date of first Publication: | 2009/02/06 |
| Publishing Institution: | Ruhr-Universität Bochum, Universitätsbibliothek |
| Granting Institution: | Ruhr-Universität Bochum, Fakultät für Physik und Astronomie |
| Date of final exam: | 2008/12/19 |
| Creating Corporation: | Fakultät für Physik und Astronomie |
| GND-Keyword: | Verteilungsfunktion; Induktive Kopplung; Radiofrequenz; Resonanz; Modellierung |
| Institutes/Facilities: | Institut für Experimentalphysik V, Lehrstuhl für Plasma- und Atomphysik |
| Dewey Decimal Classification: | Naturwissenschaften und Mathematik / Physik |
| faculties: | Fakultät für Physik und Astronomie |
| Licence (German): |  Keine Creative Commons Lizenz - es gelten der Veröffentlichungsvertrag und das deutsche Urheberrecht |
