Diagnostics and modeling of an inductively coupled radio frequency discharge in hydrogen

  • Das Ziel der Arbeit war, das Verständnis von induktiv gekoppelten Plasmen in Wasserstoff zu verbessern. Dazu wurden zahlreiche Diagnostikmethoden eingesetzt und ein Modell entwickelt, das die Mechanismen der Leistungseinkoppelung, Plasmaerzeugung und Schichtausbildung berücksichtigt. Experimentelle Untersuchungen wurden mit Langmuir-Sondenmessungen, Messungen des elektrischen Feldes im Schichtbereich, massenaufgelöste Ionenenergieanalyse an der Elektrodenoberfläche und zeitaufgelöster optischer Emissionsspektroskopie in einer modifizierten GEC-Referenz-Zelle durchgeführt. Das ICP-Entladungsmodell besteht aus drei Modulen. Das „Plasmamodell” erlaubt die Berechnung von Elektronendichte und Elektronentemperatur. Das „elektrische Modell“ verknüpft die Eingangs-RF-Leistung mit der im Plasma kapazitiv oder induktiv dissipierten Leistung. Das „Schichtmodell“ berechnet die Felder, die Potentiale, die Ströme und die Ionenenergie-Verteilungsfunktion. Das Modell ist konsistent mit den Messungen.

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Metadaten
Author:Victor Anatolievich Kadetov
URN:urn:nbn:de:hbz:294-11103
Document Type:Doctoral Thesis
Language:English
Date of Publication (online):2004/08/12
Date of first Publication:2004/08/12
Publishing Institution:Ruhr-Universität Bochum, Universitätsbibliothek
Granting Institution:Ruhr-Universität Bochum, Fakultät für Physik und Astronomie
Date of final exam:2004/06/19
Creating Corporation:Fakultät für Physik und Astronomie
GND-Keyword:Niederdruckplasma; Plasmaschicht; Induktive Kopplung; Wasserstoff; Niedrigtemperatur
Dewey Decimal Classification:Naturwissenschaften und Mathematik / Physik
Licence (German):License LogoKeine Creative Commons Lizenz - es gilt der Veröffentlichungsvertrag und das deutsche Urheberrecht