MOCVD and ALD of rare earth containing multifunctional materials
- Die vorliegende Dissertation beschäftigt sich mit der Entwicklung von metallorganischen Komplexen der Seltener-Elemente. Diese sollten als neuartigen Precursoren für die Erzeugung von seltenerdhaltigen Dünnschichten mittels Metallorganischer Chemischer Dampfabscheidung (MOCVD) und Atomic Layer Deposition (ALD) eingesetzt werden. Innerhalb der Arbeit wurden zwei Precursorklassen untersucht, die Tris-Malonato-Komplexe sowie die Tris-Gunanidinato-Komplexe einer Reihe von Seltenerdmetallen. Letztere zeigten hervorragende Eigenschaften bezüglich ihrer Flüchtigkeit, ihrer thermischen Stabilität, der definierten Zersetzung und der hohen Reaktivität gegenüber Wasser. Sie wurden erfolgreich als Precursoren für die MOCVD von Seltenerd-Oxid Schichten eingesetzt. Unter Verwendung eines Gadolinium Guanidinats konnte außerdem gezeigt werden, dass die Seltenerd-Guanidinate vielversprechende Precursoren für die ALD von Seltenerd-Oxid sowie die MOCVD von Seltenerd-Nitrid Schichten darstellen.
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| Author: | Andrian Petrov MilanovGND |
|---|---|
| URN: | urn:nbn:de:hbz:294-28333 |
| Subtitle (English): | from precursor chemistry to thin film deposition and applications |
| Referee: | Anjana DeviORCiDGND, Roland A. FischerGND, Ulrich KunzeORCiDGND, Martin MuhlerORCiDGND |
| Document Type: | Doctoral Thesis |
| Language: | English |
| Date of Publication (online): | 2010/07/12 |
| Date of first Publication: | 2010/07/12 |
| Publishing Institution: | Ruhr-Universität Bochum, Universitätsbibliothek |
| Granting Institution: | Ruhr-Universität Bochum, Fakultät für Chemie und Biochemie |
| Date of final exam: | 2010/03/26 |
| Creating Corporation: | Fakultät für Chemie und Biochemie |
| GND-Keyword: | Dampfabscheidung; Dünnschichttransistor; Seltenerdmetallkomplexe; Lanthanoide; MOCVD-Verfahren |
| Institutes/Facilities: | Lehrstuhl für Anorganische Chemie II, Organometallics & Materials Chemistry |
| Dewey Decimal Classification: | Naturwissenschaften und Mathematik / Chemie, Kristallographie, Mineralogie |
| faculties: | Fakultät für Chemie und Biochemie |
| Licence (German): |  Keine Creative Commons Lizenz - es gelten der Veröffentlichungsvertrag und das deutsche Urheberrecht |
