Dynamics in micro-scaled atmospheric pressure plasma arrays
- Im Rahmen dieser Dissertation werden auf dielektrisch beschichteten mikrostrukturierten Elektroden basierende, unter Wechselspannung im Kilohertz-Bereich und Peak-zu-Peak-Spannungen von bis zu 800 Volt in Argon bei Atmosphärendruck betriebene, Mikroplasma-Arrays mittels Strom- und Spannungsmessungen sowie phasenaufgelöster optischer Emissionsspektroskopie im Hinblick auf die Entladungseigenschaften und Plasmadynamik der einzelnen Mikroplasmen sowie kollektives Verhalten charakterisiert. Es zeigt sich, dass die einzelnen Entladungen ein von langlebigen metastabilen Spezies und Oberflächenladungen dominiertes Selbstpulsen im jeweils ersten Quadrant der positiven und negativen Polarität der Anregungsfrequenz sowie Spannungs- und Frequenzverhalten aufweisen, dass typisch für sogenannte "Pseudoglimmentladungen" ist. Dabei wird eine Kopplung der einzelnen Mikroplasmen über Teilchendriften beobachtet, welche sich in Form von Ionisationswellen äußert.
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| Author: | Henrik BöttnerGND |
|---|---|
| URN: | urn:nbn:de:hbz:294-32999 |
| Referee: | Jörg WinterGND, Peter AwakowiczORCiDGND |
| Document Type: | Doctoral Thesis |
| Language: | English |
| Date of Publication (online): | 2011/11/25 |
| Date of first Publication: | 2011/11/25 |
| Publishing Institution: | Ruhr-Universität Bochum, Universitätsbibliothek |
| Granting Institution: | Ruhr-Universität Bochum, Fakultät für Physik und Astronomie |
| Date of final exam: | 2011/11/10 |
| Creating Corporation: | Fakultät für Physik und Astronomie |
| GND-Keyword: | Mikroplasma; Dynamik; Array; Argon; Lithographie (Halbleitertechnologie) |
| Dewey Decimal Classification: | Naturwissenschaften und Mathematik / Physik |
| faculties: | Fakultät für Physik und Astronomie |
| Licence (German): |  Keine Creative Commons Lizenz - es gelten der Veröffentlichungsvertrag und das deutsche Urheberrecht |
