Investigations and development of plasma surface processes
- Es wurde der Einfluss von Plasmen auf Materialien untersucht. Dabei wurden Langmuir-Sonden, SEERS, Aktinometrie, UV-Spektroskopie und energieaufgelöster Massenspektroskopie an zwei verschiedenen Plasmareaktoren benutzt, zum einen an einem CCP-Reaktor zur Bearbeitung von Halbleiterwafern, zum anderen an einem neu entwickeltem DICP-Reaktor zur Sterilisation von thermolabilen Objekten. Die Messungen an reaktiven Plasmen am CCP Reaktor wurden mit einer Langmuir-Sonde, einem SEERS Sensor und durch REM-Bilder durchgeführt. Die Plasmaparameter des DICP-Reaktors wurden durch eine Kombination von verschiedenen sich überlappenden Meßmethoden in Verbindung mit einem Simulationsprogramm ermittelt. Dabei wurde eine sehr gute Übereinstimmung zwischen Simulation und Messung gefunden. Ein sehr effektiv sterilisierendes Gasgemisches wurde entwickelt. Da der Hauptgrund der Sterilisation aufgedeckt wurde, kann nun beim Auffinden neuer Prozesse eine schnelle kostengünstige Vorauswahl getroffen werden.
Author: | Peter MeßererGND |
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URN: | urn:nbn:de:hbz:294-29714 |
Subtitle (English): | etching of semiconductors and sterilisation of polymers |
Referee: | Peter AwakowiczORCiDGND, Ralf Peter BrinkmannORCiDGND |
Document Type: | Doctoral Thesis |
Language: | English |
Year of Completion: | 2010 |
Publishing Institution: | Ruhr-Universität Bochum, Universitätsbibliothek |
Granting Institution: | Ruhr-Universität Bochum, Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik |
Date of final exam: | 2010/07/02 |
Creating Corporation: | Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik |
GND-Keyword: | Plasma; Plasmaätzen; Plasma-Simulation; Sterilisation; Messung |
Institutes/Facilities: | Lehrstuhl für Allgemeine Elektrotechnik und Plasmatechnik |
Dewey Decimal Classification: | Technik, Medizin, angewandte Wissenschaften / Elektrotechnik, Elektronik |
faculties: | Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik |
Licence (German): | Keine Creative Commons Lizenz - es gelten der Veröffentlichungsvertrag und das deutsche Urheberrecht |