Investigations and development of plasma surface processes

  • Es wurde der Einfluss von Plasmen auf Materialien untersucht. Dabei wurden Langmuir-Sonden, SEERS, Aktinometrie, UV-Spektroskopie und energieaufgelöster Massenspektroskopie an zwei verschiedenen Plasmareaktoren benutzt, zum einen an einem CCP-Reaktor zur Bearbeitung von Halbleiterwafern, zum anderen an einem neu entwickeltem DICP-Reaktor zur Sterilisation von thermolabilen Objekten. Die Messungen an reaktiven Plasmen am CCP Reaktor wurden mit einer Langmuir-Sonde, einem SEERS Sensor und durch REM-Bilder durchgeführt. Die Plasmaparameter des DICP-Reaktors wurden durch eine Kombination von verschiedenen sich überlappenden Meßmethoden in Verbindung mit einem Simulationsprogramm ermittelt. Dabei wurde eine sehr gute Übereinstimmung zwischen Simulation und Messung gefunden. Ein sehr effektiv sterilisierendes Gasgemisches wurde entwickelt. Da der Hauptgrund der Sterilisation aufgedeckt wurde, kann nun beim Auffinden neuer Prozesse eine schnelle kostengünstige Vorauswahl getroffen werden.

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Metadaten
Author:Peter MeßererGND
URN:urn:nbn:de:hbz:294-29714
Subtitle (English):etching of semiconductors and sterilisation of polymers
Referee:Peter AwakowiczORCiDGND, Ralf Peter BrinkmannORCiDGND
Document Type:Doctoral Thesis
Language:English
Year of Completion:2010
Publishing Institution:Ruhr-Universität Bochum, Universitätsbibliothek
Granting Institution:Ruhr-Universität Bochum, Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
Date of final exam:2010/07/02
Creating Corporation:Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
GND-Keyword:Plasma; Plasmaätzen; Plasma-Simulation; Sterilisation; Messung
Institutes/Facilities:Lehrstuhl für Allgemeine Elektrotechnik und Plasmatechnik
Dewey Decimal Classification:Technik, Medizin, angewandte Wissenschaften / Elektrotechnik, Elektronik
faculties:Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
Licence (German):License LogoKeine Creative Commons Lizenz - es gelten der Veröffentlichungsvertrag und das deutsche Urheberrecht