Reaction chemistry in oxygen or hexamethyldisiloxane containing noble gas microplasma jets
- Mikroplasmen bei Atmosphärendruck finden zahlreiche Anwendungen auf dem Gebiet der Oberflächenbehandlung. Dabei ist im Speziellen die Kenntnis von absoluten Dichten von Reaktionsprodukten von entscheidender Bedeutung um Behandlungsmechanismen im Detail zu verstehen und zu optimieren. Zu diesem Zweck wird in dieser Studie ein neuartiges Prinzip der Molekularstrahl-Massenspektrometrie vorgestellt, das sich durch eine hohe Sensitivität auszeichnet. Absolute Dichten von atomarem Sauerstoff und Ozon wurden in dem Effluenten eines Helium-Sauerstoff Mikroplasmajets gemessen sowie die optimalen Bedingungen für deren Produktion bestimmt. Um die Reaktionschemie im Detail zu verstehen wurden diese Messungen mit einem Modell verglichen. Verschiedene Reaktionsprodukte konnten auch in Helium-Hexamethyldisiloxan Mikroplasmajets quantitativ gemessen werden. Weiterhin ist es mit dem entwickelten Molekularstrahl-Massenspektrometer möglich die in einem Mikroplasmajet produzierten Ionen zu detektieren.
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| Author: | Dirk EllerwegGND |
|---|---|
| URN: | urn:nbn:de:hbz:294-34035 |
| Subtitle (English): | a quantitative molecular beam mass spectrometry study |
| Referee: | Achim von KeudellORCiDGND, Peter AwakowiczORCiDGND |
| Document Type: | Doctoral Thesis |
| Language: | English |
| Date of Publication (online): | 2012/03/16 |
| Date of first Publication: | 2012/03/16 |
| Publishing Institution: | Ruhr-Universität Bochum, Universitätsbibliothek |
| Granting Institution: | Ruhr-Universität Bochum, Fakultät für Physik und Astronomie |
| Date of final exam: | 2012/02/02 |
| Creating Corporation: | Fakultät für Physik und Astronomie |
| GND-Keyword: | Mikroplasma; Plasmachemie; Massenspektrometrie; Reaktive Sauerstoffspezies; Atmosphärendruckplasma |
| Dewey Decimal Classification: | Naturwissenschaften und Mathematik / Physik |
| faculties: | Fakultät für Physik und Astronomie |
| Licence (German): |  Keine Creative Commons Lizenz - es gelten der Veröffentlichungsvertrag und das deutsche Urheberrecht |
