Lithium-Atomstrahl-Spektroskopie als Diagnostik zur Bestimmung von Dichte und Temperatur der Elektronen in Niedertemperaturplasmen

  • In Niedertemperaturplasmen haben die Dichte und Energie der Elektronen hohen Einfluss auf chemische Reaktivität und Schichtabscheidung. Daher ist deren Kenntnis - insbesondere deren räumliche Verteilung und zeitliche Entwicklung - von fundamentaler Bedeutung. In dieser Arbeit wird mit der Lithium-Atomstrahl-Spektroskopie eine neue Diagnostik für Niedertemperaturplasmen vorgestellt und charakterisiert. Der Li-Strahl wird durch Stöße mit Elektronen angeregt. Die emittierten Linienstrahlintensitäten werden detektiert und ergeben im Vergleich mit einem Stoß-Strahlungs-Modell unter Berücksichtigung des Strahlungstransports die gesuchten Plasmaparameter. Die Diagnostik wird eingesetzt in einem induktiv gekoppelten Niedertemperaturplasma und mit Ergebnissen aus Langmuir-Sondenmessungen verglichen. Der Lithiumstrahl wird mit Hilfe von laserinduzierten Fluoreszenz-Messungen vermessen. Neben dem thermischen Lithium-Atomstrahl kommt ein gepulster, ablatierter Li-Strahl zum Einsatz.

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Metadaten
Author:Marc BökeORCiDGND
URN:urn:nbn:de:hbz:294-8663
Referee:Jörg WinterGND, Henning SoltwischGND
Document Type:Doctoral Thesis
Language:German
Date of Publication (online):2003/10/06
Date of first Publication:2003/10/06
Publishing Institution:Ruhr-Universität Bochum, Universitätsbibliothek
Granting Institution:Ruhr-Universität Bochum, Fakultät für Physik und Astronomie
Date of final exam:2003/07/28
Creating Corporation:Fakultät für Physik und Astronomie
GND-Keyword:ICP; Gaselektronik; Plasmatechnik; Elektronendichte; Atomstrahl
Dewey Decimal Classification:Naturwissenschaften und Mathematik / Physik
faculties:Fakultät für Physik und Astronomie
Licence (German):License LogoKeine Creative Commons Lizenz - es gelten der Veröffentlichungsvertrag und das deutsche Urheberrecht

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