Study of the N yield in a microwave plasma for the deposition of CNH materials
- Ziel dieser Arbeit ist das Verständnis der grundsätzlichen Mechanismen der Plasma / Oberflächen Wechselwirkung. Der flowing afterglow eines Ar/N\(_{2}\) Plasmas wird untersucht. Die reaktiven Neutralteilchen werden mittels eines brennenden Oberflächenwellenplasmas erzeugt und in eine UHV Kammer geleitet. Mit Hilfe der Schwellwert-Ionisations-Massen-Spektrometrie und einer Modulationstechnik kann der N-Atome Fluß im 'remote Plasma' nachgewiesen werden. Ein kinetisches Modell wurde entwickelt, mit dem die Boltzmann Gleichung und ein Gleichungssystem für die wichtigsten Spezies selbstkonsistent gelöst werden. Die Dissoziation von N\(_{2}\) durch direkten Elektronenstoß ist der Hauptmechanismus für die Erzeugung von N-Atomen. Die Wandrekombination hingegen ist der Hauptverlustprozeß. Die Ätzung von a-C:H-Filmen durch N-Atome im 'remote Plasma' wird studiert. Es wird gezeigt, daß die Ätzreaktion thermisch aktiviert wird. Die XPS Analysen zeigen, daß die Stickstoffatome in die Filme eingelagert werden.
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| Author: | David DouaiGND |
|---|---|
| URN: | urn:nbn:de:hbz:294-3534 |
| Subtitle (English): | measurement in the remote plasma, kinetic study and etching of a-C:H films by N atoms |
| Referee: | Jörg WinterGND, J. MarecGND |
| Document Type: | Doctoral Thesis |
| Language: | English |
| Date of Publication (online): | 2003/03/18 |
| Date of first Publication: | 2003/03/18 |
| Publishing Institution: | Ruhr-Universität Bochum, Universitätsbibliothek |
| Granting Institution: | Ruhr-Universität Bochum, Fakultät für Physik und Astronomie |
| Date of final exam: | 2001/07/13 |
| Creating Corporation: | Fakultät für Physik und Astronomie |
| GND-Keyword: | Mikrowellenplasma; Stickstoffatom; Quadrupolmassenspektrometrie; Boltzmann-Gleichung; Plasmaätzen |
| Institutes/Facilities: | Institut für Experimentalphysik II |
| Dewey Decimal Classification: | Naturwissenschaften und Mathematik / Physik |
| faculties: | Fakultät für Physik und Astronomie |
| Licence (German): |  Keine Creative Commons Lizenz - es gelten der Veröffentlichungsvertrag und das deutsche Urheberrecht |
