Simulation und Modellierung von CCRF-Entladungen in molekularen Gasen

In dieser Dissertation werden kapazitiv gekoppelte Radiofrequenzentladungen in Wasserstoff und Silan/Wasserstoffgemischen bei Drücken zwischen 100 Pa und 100 Pa simuliert, wie sie in der Behandlung von Oberflächen eingesetzt werden. Dazu wird das Hybrid Plasma Equipment Model von Mark Kushner, welches kinetische mit Fluidsimulationen kombiniert. Der Fokus liegt dabei auf elektrisch asymmetrischen Entladungen; diese gestatten theoretisch eine unabhängige Kontrolle der Energie, mit der Ionen auf die Oberflächen auftreffen, und des Ionenflusses zu diesen. Anhand der Simulationen wurde gezeigt, dass diese unabhängige Kontrolle in den untersuchten Plasmen eingeschränkt ist. In reinem Wasserstoff geschieht dies durch die sogenannte Feldumkehr, welche zu stark lokaliserten Ionenquellen vor den Oberflächen führt. Im Silan/Wasserstoffgemisch ist dies durch die relativ niedrige Leitfähigkeit des Plasmas bedingt; diese führt dazu, dass sich das kapazitive Plasma zunehmend resistiv verhält.

Metadaten
Author:	Sebastian Mohr ORCiD GND
URN:	urn:nbn:de:hbz:294-40650
Referee:	Uwe Czarnetzki ORCiD GND, Ralf Peter Brinkmann ORCiD GND
Document Type:	Doctoral Thesis
Language:	German
Date of Publication (online):	2014/04/29
Date of first Publication:	2014/04/29
Publishing Institution:	Ruhr-Universität Bochum, Universitätsbibliothek
Granting Institution:	Ruhr-Universität Bochum, Fakultät für Physik und Astronomie
Date of final exam:	2014/01/30
Creating Corporation:	Fakultät für Physik und Astronomie
GND-Keyword:	Simulation; PECVD-Verfahren; Hochfrequenzplasma; Wasserstoff; Silan
Institutes/Facilities:	Institut für Theoretische Physik I, Plasma-, Laser- und Atomphysik
Dewey Decimal Classification:	Naturwissenschaften und Mathematik / Physik
faculties:	Fakultät für Physik und Astronomie
Licence (German):	Keine Creative Commons Lizenz - es gelten der Veröffentlichungsvertrag und das deutsche Urheberrecht

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