Topographic measurements using digital holographic microscopy combined with photorefractive single-shot holography
- Die digitale holographische Mikroskopie (DHM) ist ein Verfahren, durch das mit Hilfe der Phasendetektion des reflektierten Lichtes Rückschlüsse auf die topographische Beschaffenheit einer Struktur gezogen werden kann. Die vertikale Auflösung beträgt wenige Nanometer. Allerdings ist der vertikale Messbereich beschränkt. Durch mehrere Messungen mit unterschiedlichen Wellenlängen kann dieser weiter erhöht werden. Durch das Verfahren der Einzelschussholographie können mehrere Datensätze gleichzeitig gespeichert werden. Eine Kombination beider Verfahren ermöglicht eine simultane Aufnahme vieler Datensätze. Es wurde die Durchführbarkeit der Einzelschussholographie mit colliding pulse mode-locked Laserdioden als Schreiblaser und Bariumtitanat als holographischer Speicher untersucht. Außerdem wurden ein Aufbau zur DHM entwickelt und aufgebaut und topographische Strukturmessungen von elektronischen Bauteilen mit transparenten Schichten in Kombination mit dem dual-wavelength Verfahren durchgeführt.
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| Author: | Doris GrosseGND |
|---|---|
| URN: | urn:nbn:de:hbz:294-40809 |
| Referee: | Martin HofmannGND, Thomas MussenbrockORCiDGND |
| Document Type: | Doctoral Thesis |
| Language: | English |
| Date of Publication (online): | 2014/05/08 |
| Date of first Publication: | 2014/05/08 |
| Publishing Institution: | Ruhr-Universität Bochum, Universitätsbibliothek |
| Granting Institution: | Ruhr-Universität Bochum, Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik |
| Date of final exam: | 2014/01/31 |
| Creating Corporation: | Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik |
| GND-Keyword: | Holographie; Digitalholographische Mikroskopie; Optische Kohärenztomographie; Bildgebendes Verfahren; Oberflächenmessung |
| Institutes/Facilities: | Lehrstuhl für Photonik und Terahertztechnologie |
| Dewey Decimal Classification: | Technik, Medizin, angewandte Wissenschaften / Ingenieurwissenschaften, Maschinenbau |
| faculties: | Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik |
| Licence (German): |  Keine Creative Commons Lizenz - es gelten der Veröffentlichungsvertrag und das deutsche Urheberrecht |
