Kapazitiv gekoppelte Mehrfrequenzplasmen zur Abscheidung keramischer und ferromagnetischer Schichten
- Die vorliegende Dissertation beschäftigt sich mit großflächigen kapazitiv gekoppelten Mehrfrequenzplasmaquellen (MFCCPs) zur Abscheidung keramischer und ferromagnetischer Schichtsysteme mittels reaktiver Sputterprozesse. Die Verwendung mehrerer Frequenzen zur Plasmaerzeugung ermöglicht in gewissen Grenzen die unabhängige Kontrolle zweier fundamentaler Plasmagrößen in Sputterplasmen; der Ionenenergie und dem Ionenfluss auf das Target. Wohingegen typischerweise nur zwei verschiedene Anregungsfrequenzen verwendet werden, sind hier Vorteile von weiteren Anregungsfrequenzen herausgearbeitet. Durch Verwendung einer elektrisch asymmetrischen Plasmaanregung wird der kleiner werdenden Selfbiasspannung in großflächigen Entladungen entgegengewirkt. Die Untersuchungen der Mehrfrequenzprozesse basieren überwiegend auf Plasmadiagnostiken. Durch ausgewählte Schichtanalytiken sind Korrelationen zwischen Schichteigenschaften mit Plasmagrößen herausgearbeitet.
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| Author: | Stefan BienholzGND |
|---|---|
| URN: | urn:nbn:de:hbz:294-40819 |
| Referee: | Peter AwakowiczORCiDGND, Thomas MussenbrockORCiDGND |
| Document Type: | Doctoral Thesis |
| Language: | German |
| Date of Publication (online): | 2014/05/08 |
| Date of first Publication: | 2014/05/08 |
| Publishing Institution: | Ruhr-Universität Bochum, Universitätsbibliothek |
| Granting Institution: | Ruhr-Universität Bochum, Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik |
| Date of final exam: | 2014/02/21 |
| Creating Corporation: | Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik |
| GND-Keyword: | Plasma; Beschichtung; Zerstäubung; Ferromagnetische Schicht; Hochfrequenzplasma |
| Institutes/Facilities: | Lehrstuhl für Allgemeine Elektrotechnik und Plasmatechnik |
| Dewey Decimal Classification: | Technik, Medizin, angewandte Wissenschaften / Elektrotechnik, Elektronik |
| faculties: | Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik |
| Licence (German): |  Keine Creative Commons Lizenz - es gelten der Veröffentlichungsvertrag und das deutsche Urheberrecht |
