Metalorganic chemical vapor deposition (MOCVD) routes for fabrication of rare earth nitride thin films
- Die vorliegende Dissertation beschäftigt sich mit der Evaluation von Stickstoff koordinierten Seltenerd Komplexen als Präkursoren für die metallorganische chemische Dampfabscheidung (MOCVD) von Seltenerd-Nitrid Dünnschichten. Es wurden zwei verschiedene Klassen von Verbindungen untersucht, die Amidinate und die Guanidinate. Als Referenz und als Beispiel für eine kommerziell erhältliche Ligandenklasse wurden Cyclopentadienyl-Komplexe ausgewählt und untersucht. Modellsysteme für diese Untersuchungen waren die Seltenerd-Nitride GdN, ErN und YN. Es konnten qualitativ hochwertige und hochgradig orientierte Seltenerd-Nitrid Dünnschichten abgeschieden werden. Zusätzlich wurde Aluminium-Nitrid als alternatives Capping Material zu Kupfer untersucht, um eine Oxidation der Seltenerd-Nitrid Dünnschichten zu verlangsamen.
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| Author: | Michael KrasnopolskiGND |
|---|---|
| URN: | urn:nbn:de:hbz:294-41427 |
| Subtitle (English): | precursor evaluation, thin film deposition and characterization |
| Referee: | Roland A. FischerGND, Anjana DeviORCiDGND |
| Document Type: | Doctoral Thesis |
| Language: | English |
| Date of Publication (online): | 2014/07/25 |
| Date of first Publication: | 2014/07/25 |
| Publishing Institution: | Ruhr-Universität Bochum, Universitätsbibliothek |
| Granting Institution: | Ruhr-Universität Bochum, Fakultät für Chemie und Biochemie |
| Date of final exam: | 2014/03/20 |
| Creating Corporation: | Fakultät für Chemie und Biochemie |
| GND-Keyword: | Nitride; Dampfabscheidung; MOCVD-Verfahren; Präkursor; Lanthanoide |
| Institutes/Facilities: | Lehrstuhl für Anorganische Chemie II, Organometallics & Materials Chemistry |
| Dewey Decimal Classification: | Naturwissenschaften und Mathematik / Chemie, Kristallographie, Mineralogie |
| faculties: | Fakultät für Chemie und Biochemie |
| Licence (German): |  Keine Creative Commons Lizenz - es gelten der Veröffentlichungsvertrag und das deutsche Urheberrecht |
