Metal nitride and metal disulfide thin films via CVD

  • Die vorliegende Dissertation beschäftigt sich mit der Entwicklung und Optimierung von Prozessen der metallorganischen chemischen Dampfabscheidung (MOCVD) zur Erzeugung von Metallnitrid und Metallsulfid-Dünnschichten. Dabei wurden Heterostrukturen aus Gadoliniumnitrid (GdN) und Aluminiumnitrid (AlN) abgeschieden, um die Reinheit und Langzeitstabilität der ferromagnetischen GdN Schichten zu optimieren. Zur Herstellung von Übergangsmetalldisulfiden (MoS\(_2\), WS\(_2\)) wurden stickstoffkoordinierende Metallkomplexe als Präkursoren in Kombination mit Schwefeldampf verwendet. Die ausgeprägte Reaktivität der imido-amidinato Präkursoren mit dem Coreaktant erlaubt dabei die Substitution von giftigem Schwefelwasserstoff. Mit diesem Konzept wurde der erste MOCVD Prozess zur Erzeugung von Seltenerdsulfid (Nd\(_2\)S\(_3\))-Dünnschichten unter Verwendung neuer trisguanidinato und tris-amidinato Nd-Präkursoren entwickelt.

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Metadaten
Author:Stefan CwikGND
URN:urn:nbn:de:hbz:294-55962
Subtitle (German):exploring the diversity of all nitrogen coordinated rare earth and group 6 precursors
Referee:Anjana DeviORCiDGND, Axel RosenhahnORCiDGND
Document Type:Doctoral Thesis
Language:English
Date of Publication (online):2018/02/19
Date of first Publication:2018/02/19
Publishing Institution:Ruhr-Universität Bochum, Universitätsbibliothek
Granting Institution:Ruhr-Universität Bochum, Fakultät für Chemie und Biochemie
Date of final exam:2017/10/04
Creating Corporation:Fakultät für Chemie und Biochemie
GND-Keyword:Dampfabscheidung; Gadoliniumnitrid; Neodymsulfid; Dünne Schicht; Molybdändisulfid
Institutes/Facilities:Lehrstuhl für Anorganische Chemie II, Inorganic Materials Chemistry
Dewey Decimal Classification:Naturwissenschaften und Mathematik / Chemie, Kristallographie, Mineralogie
faculties:Fakultät für Chemie und Biochemie
Licence (German):License LogoKeine Creative Commons Lizenz - es gelten der Veröffentlichungsvertrag und das deutsche Urheberrecht