Metal nitride and metal disulfide thin films via CVD
- Die vorliegende Dissertation beschäftigt sich mit der Entwicklung und Optimierung von Prozessen der metallorganischen chemischen Dampfabscheidung (MOCVD) zur Erzeugung von Metallnitrid und Metallsulfid-Dünnschichten. Dabei wurden Heterostrukturen aus Gadoliniumnitrid (GdN) und Aluminiumnitrid (AlN) abgeschieden, um die Reinheit und Langzeitstabilität der ferromagnetischen GdN Schichten zu optimieren. Zur Herstellung von Übergangsmetalldisulfiden (MoS\(_2\), WS\(_2\)) wurden stickstoffkoordinierende Metallkomplexe als Präkursoren in Kombination mit Schwefeldampf verwendet. Die ausgeprägte Reaktivität der imido-amidinato Präkursoren mit dem Coreaktant erlaubt dabei die Substitution von giftigem Schwefelwasserstoff. Mit diesem Konzept wurde der erste MOCVD Prozess zur Erzeugung von Seltenerdsulfid (Nd\(_2\)S\(_3\))-Dünnschichten unter Verwendung neuer trisguanidinato und tris-amidinato Nd-Präkursoren entwickelt.
Author: | Stefan CwikGND |
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URN: | urn:nbn:de:hbz:294-55962 |
Subtitle (German): | exploring the diversity of all nitrogen coordinated rare earth and group 6 precursors |
Referee: | Anjana DeviORCiDGND, Axel RosenhahnORCiDGND |
Document Type: | Doctoral Thesis |
Language: | English |
Date of Publication (online): | 2018/02/19 |
Date of first Publication: | 2018/02/19 |
Publishing Institution: | Ruhr-Universität Bochum, Universitätsbibliothek |
Granting Institution: | Ruhr-Universität Bochum, Fakultät für Chemie und Biochemie |
Date of final exam: | 2017/10/04 |
Creating Corporation: | Fakultät für Chemie und Biochemie |
GND-Keyword: | Dampfabscheidung; Gadoliniumnitrid; Neodymsulfid; Dünne Schicht; Molybdändisulfid |
Institutes/Facilities: | Lehrstuhl für Anorganische Chemie II, Inorganic Materials Chemistry |
Dewey Decimal Classification: | Naturwissenschaften und Mathematik / Chemie, Kristallographie, Mineralogie |
faculties: | Fakultät für Chemie und Biochemie |
Licence (German): | Keine Creative Commons Lizenz - es gelten der Veröffentlichungsvertrag und das deutsche Urheberrecht |