From molecules to materials
- Gegenstand dieser Dissertation sind die Synthese und Charakterisierung von flüchtigen Organometall-Verbindungen des Kupfers, des Zinns und des Silbers sowie deren Untersuchung auf Eignung als chemische Vorstufen, sog. Präkursoren, für die Abscheidung von Metall- oder Metalloxid-Dünnschichten mittels Gasphasen- und lösungsbasierten Abscheidungsverfahren, wie beispielsweise der chemischen Gasphasenabscheidung, der Atomlagenabscheidung sowie der Rotationsbeschichtung. Der erste Teil dieser Dissertation beschäftigt sich mit der Synthese von homoleptischen \(\beta\)-Ketoiminat-basierten Präkursoren des Kupfers und des Zinns zur Herstellung von p- und n-Typ Oxid-Halbleitermaterialien, während sich der zweite Teil auf die Synthese und Charakterisierung von heteroleptischen \(\it N\)-heterozyklischen Carbenen des Kupfers und des Silbers als Präkursoren für die chemische Gasphasenabscheidung und Atomlagenabscheidung für metallische Kupfer- bzw. Silber-Dünnschichten fokussiert.
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| Author: | Sarah KarleGND |
|---|---|
| URN: | urn:nbn:de:hbz:294-56543 |
| Subtitle (English): | rational design and development of group 11 and group 14 complexes and their evaluation as precursors for the deposition of metal and metal oxide thin films |
| Referee: | Anjana DeviORCiDGND, Axel RosenhahnORCiDGND |
| Document Type: | Doctoral Thesis |
| Language: | English |
| Date of Publication (online): | 2018/03/28 |
| Date of first Publication: | 2018/03/28 |
| Publishing Institution: | Ruhr-Universität Bochum, Universitätsbibliothek |
| Granting Institution: | Ruhr-Universität Bochum, Fakultät für Chemie und Biochemie |
| Date of final exam: | 2017/12/01 |
| Creating Corporation: | Fakultät für Chemie und Biochemie |
| Tag: | Beschichtung; Silber; Zinnoxide |
| GND-Keyword: | CVD-Verfahren; Atomlagenabscheidung; Präkursor; Dünne Schicht; Kupfer |
| Institutes/Facilities: | Lehrstuhl für Anorganische Chemie II, Inorganic Materials Chemistry |
| Dewey Decimal Classification: | Naturwissenschaften und Mathematik / Chemie, Kristallographie, Mineralogie |
| faculties: | Fakultät für Chemie und Biochemie |
| Licence (German): |  Keine Creative Commons Lizenz - es gelten der Veröffentlichungsvertrag und das deutsche Urheberrecht |
